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Laser chemical processing for microelectronics

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Verfasserangabe: ed. by K. G. Ibbs ...
Jahr: 1989
Verlag: New York, NY, Cambridge Univ. Press
Reihe: Cambridge studies in modern optics; 7

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Zweigstelle: Zweibrücken, Hochsch Signatur: N240/28 Mediengruppe: Barcode: ZW014585 Standort 2:

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Verfasserangabe: ed. by K. G. Ibbs ...
Jahr: 1989
Verlag: New York, NY, Cambridge Univ. Press
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Systematik: Suche nach dieser Systematik N240
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ISBN: 0-521-32254-5
Beschreibung: 172 S.: Ill., graph. Darst.
Reihe: Cambridge studies in modern optics; 7
Beteiligte Personen: Suche nach dieser Beteiligten Person Ibbs, K. G. [Hrsg.]
Fußnote: Literaturang.