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Enabling technology for MEMS and nanodevices

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Verfasserangabe: ed. by H. Baltes ...
Jahr: 2004
Verlag: Weinheim, Wiley-VCH
Reihe: Advanced micro & nanosystems; 1

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Zweigstelle: Zweibrücken, Hochsch Signatur: N590/38 Mediengruppe: Barcode: ZW043139 Standort 2:

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Verfasserangabe: ed. by H. Baltes ...
Jahr: 2004
Verlag: Weinheim, Wiley-VCH
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Systematik: Suche nach dieser Systematik N590
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ISBN: 3-527-30746-X
Beschreibung: XII, 427 S. : Ill., graph. Darst.
Reihe: Advanced micro & nanosystems; 1
Beteiligte Personen: Suche nach dieser Beteiligten Person Baltes, Henry [Hrsg.]
Sprache: Englisch
Fußnote: Literaturang.