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Halbleiter-Technologie

eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen
Verfasser: Suche nach diesem Verfasser Beneking, Heinz
Verfasserangabe: von Heinz Beneking
Jahr: 1991
Verlag: Stuttgart, Teubner

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Zweigstelle: Zweibrücken, Hochsch Signatur: N520/18e Mediengruppe: Barcode: ZW021897 Standort 2:
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Details

Verfasser: Suche nach diesem Verfasser Beneking, Heinz
Verfasserangabe: von Heinz Beneking
Jahr: 1991
Verlag: Stuttgart, Teubner
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Systematik: Suche nach dieser Systematik N520
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ISBN: 3-519-06133-3
Beschreibung: XI, 812 S.: zahlr. Ill. u. graph. Darst.
Schlagwörter: Halbleitertechnologie; Semiconductor technology; Silicium
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Fußnote: Literaturverz. S. 746 - 769