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Entwicklung von Technologien zur Herstellung von piezoelektrisch angeregten, mikromechanischen Resonatorstrukturen in Silizum und Quarz

Verfasser: Suche nach diesem Verfasser Wagner, Hans-Joachim
Verfasserangabe: von Hans-Joachim Wagner
Jahr: 1995
Verlag: Aachen, Shaker
Reihe: Berichte aus der Mikromechanik

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Zweigstelle: Zweibrücken, Hochsch Signatur: N540/3a Mediengruppe: Barcode: ZW020985 Standort 2:
Zweigstelle: Zweibrücken, Hochsch Signatur: N540/3b Mediengruppe: Barcode: ZW021938 Standort 2:
Zweigstelle: Zweibrücken, Hochsch Signatur: N540/3 Mediengruppe: Barcode: ZW020984 Standort 2:

Details

Verfasser: Suche nach diesem Verfasser Wagner, Hans-Joachim
Verfasserangabe: von Hans-Joachim Wagner
Jahr: 1995
Verlag: Aachen, Shaker
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Systematik: Suche nach dieser Systematik N540
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ISBN: 3-8265-0877-7
Beschreibung: 225 S. : Ill., graph. Darst.
Reihe: Berichte aus der Mikromechanik
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Fußnote: Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1995