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Plasma etching

an introduction

Verfasserangabe: edited by Dennis M. Manos, Plasma Physics Laboratory, Princeton University, Princeton, New Jersey, Daniel L. Flamm, AT & T Bell Laboratories, Murray Hill, New Jersey

Jahr: 1989

Verlag: San Diego, Calif., Academic Press

Reihe: Plasma - materials interactions

Exemplare

Zweigstelle	Signatur	Mediengruppe	Barcode	Standort 2
Zweigstelle: Zweibrücken, Hochsch	Signatur: N270/7	Mediengruppe:	Barcode: ZW025109	Standort 2:

Details

Verfasserangabe: edited by Dennis M. Manos, Plasma Physics Laboratory, Princeton University, Princeton, New Jersey, Daniel L. Flamm, AT & T Bell Laboratories, Murray Hill, New Jersey

Jahr: 1989

Verlag: San Diego, Calif., Academic Press

Systematik: N270

ISBN: 0-12-469370-9

Beschreibung: XII, 476 Seiten : Illustrationen

Reihe: Plasma - materials interactions

Schlagwörter: Plasmaphysik

Beteiligte Personen: Manos, Dennis M.; Flamm, Daniel L.

Fußnote: Literaturangaben

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